ระยะเวลาอบที่นานขึ้นปรับโครงสร้างและผิวฟิล์มเหล็กไดซิลิไซด์นาโนได้เพียงเล็กน้อย
ทีมนักวิจัยไทยสร้างฟิล์มเหล็กไดซิลิไซด์ระดับนาโนบนแผ่นซิลิคอนด้วยการสปัตเตอริงแบบเป้าหันเข้าหากัน แล้วเปรียบเทียบการอบที่ 300 องศาเซลเซียสเป็นเวลา 2, 4 และ 6 ชั่วโมง ผลชี้ว่าการอบนานขึ้นช่วยให้ผลึกกระจายตัวเป็นระเบียบและลดตำหนิบางส่วน แต่เปลี่ยนโครงสร้าง ความเปียก และความแข็งเพียงเล็กน้อย